◎원리

전자총에서 발생한 전자빔을 시료 표면에 주사하고, 전자빔과 시료의 상호작용으로 발생하는 이차전자(Secondary Electron)를 검출하여 시료 표면의 미세구조와 형상을 관찰합니다.

◎특징

· 최대 300,000배의 고배율 관찰 가능

· 최대 3.0 nm의 분해능(SE Image) 제공

· 200 V ~ 30 kV 범위의 가속전압 조절 가능

· 5축(X, Y, Z, Tilt, Rotation)스테이지를 이용한 시료 위치 및 관찰 방향 조절 가능

· 최대 직경 150 mm, 높이 60 mm의 시료 장착 가능

· 자동 초점 및 밝기·명암 조절 기능 제공

◎활용

◎적용 시료

◎유의 사항