◎원리

레이저 공초점, 백색광 간섭, 포커스 바리에이션의 세 가지 광학 측정 방식을 이용하여 시료 표면의 미세 형상과 높이 정보를 비접촉 방식으로 측정합니다.

레이저의 초점 위치, 빛의 간섭 신호 또는 이미지의 초점 변화를 분석하여 표면의 높이 정보를 획득하며, 이를 기반으로 3차원 표면 형상, 단차 및 표면 거칠기​를 정밀하게 분석할 수 있습니다.

◎특징

· 종합 배율: 42 ~ 28,800×

· 시야 범위: 11 ~ 7,398 μm

· 높이 표시 분해능: 0.01 nm (백색 간섭)

· 최대 스캔 영역: 50 × 50 mm

· 레이저 광원: 404 nm

· 최고 레이저 측정 속도: 125 Hz (면), 7,900 Hz (선)

· 광학 관찰 화소 수: 560만 화소

· 광학 줌: 1 ~ 8×

· XY 스테이지 가동 범위: 100 × 100 mm (전동)

◎활용

· 배터리 양·음극재, 분리막 및 집전체의 표면 형상 관찰 및 3D 형상 분석

· 전극 표면의 거칠기, 단차 및 높이 정밀 측정

· 전극 입자 및 코팅층의 표면 형상과 균일도 분석

· 최대 50 × 50 mm 영역의 3D 표면 형상 및 결함 관찰

· 드라이룸 환경에서 수분 민감성 배터리 소재의 비접촉 광학 측정

◎적용 시료

양·음극재, 분리막, 집전체 등 이차전지 소재 및 금속, 세라믹, 고분자 등의 ​고체 소재

◎유의 사항

· 시료의 반사율, 투명도 및 표면 상태에 따른 측정 품질 차이

· 과도한 표면 기울기일 경우 일부 영역의 측정 제한